以前硕班的实验室算是做半导体实验的,常常会做一些镀膜、蚀刻...等等制程。
可能是镀膜、蚀刻这类术语讲起来冷冰冰的太不通人情。
做实验沟通时常常会换成比较口语化的形容词。
镀膜常被说成"长膜"。而蚀刻就更不得了了,各式各样的话语都有。
使用蚀刻液蚀刻金属或氧化物时,常用“吃”这个动词。
比如说要蚀刻金属的话,就可以说“吃铝”或“吃铜”。
有时实验品用HF或硫酸蚀刻时,也会讲“吃HF”或“吃硫酸”。
而用特定机台蚀刻的话,除了“吃”以外,也常用“敲”或“打”。
综合以上规则,在meeting报告实验流程时,
就可以看到大家一本正经地,讲这种不伦不类的话:
“这边会先长一层OOO,接着用XXX敲下去。
等剩下100微米时,再长一层OXO,最后用XOX吃干净...”
有时学长会矩手讨论:
“为什么你要用XOX吃?
建议你可以用XXX直接敲完,一劳永逸。”
最后教授会赞许似的点点头,微笑说道:
“用XOX吃或XXX敲都很好,
但我更建议用OOX敲完再用XXO吃深一点,效果会更好”
众人在感叹教授智慧的同时,也对吃跟敲的了解又深了一层。
记得第一次参加meeting不了解,还以为实验室是什么牛鬼蛇神的地方。
一天到晚不是敲敲打打,就是吃铝、吃铜乱吃东西。
有一天,某学长拿着实验试片,愁眉苦脸的走进实验室。
“怎么啦,一脸赛样” 众人关心的询问。
“唉,我这个制程想错了,
应该还要先再长一层XXX,再镀金上去。现在金已经镀上去了...”
“那现在怎么办?”
“没办法啊,就只能把金吃掉去长XXX,然后再镀金...”
“ok的,慢慢做啦”
某学长说完就拿着试片,准备去做实验了。
这时刚进实验室没多久、做事积极认真又不耻下问的硕一学妹。
大概是想多学一些实验技巧吧,
看着某学长走出去,急急忙忙的站起来对某学长大声说:
学长! 我可以去看你吃金吗?!
众人都傻眼了,
只见某学长想都没想,就说好啊。
把样品泡在金蚀刻液中时,还一派轻松地对学妹说:就这样吃,很简单的。
而学妹也勤奋地写下注意事项。