楼主:
lion28s (风帆)
2025-01-18 13:12:31我以前曾在twitter看过一篇大神的文章分析过，由于我不是专业，有错请指正
中国不是搞不出极紫外光，他们能能够建造出同步辐射中心(台湾也有)，同步辐射光源拿
来当EUV是绰绰有余
不过同辐一座大概一个足球场大小，EUV一台大概一辆双层巴士大小，这也是ASML最厉害
地方，它不是强在发明出光刻机，而是把光源技术用有效益、能商业化的方式做出来
不然每新增一条产线，旁边先圈一块地盖光源，谁受得了
还有价格问题，盖一座同辐要好几百亿，简单来说，一台EUV机台，可能要解压缩成好几
百亿工程+一块足球场大小的土地
中国很久之前就有人在讨论是不是拿同辐中心来改成晶圆厂，中国有四座，讨论最多的是
合肥同辐中心，离中国的半导体产业聚落最近。这件事目前还没做的主要是效益太低，就
像房间里有蚊子，我他妈放个C4炸烂蚊子
哈工大这研究有可能他们有在考虑拿同步辐射用来生产晶圆，所以在研究要怎么改良使用