原文标题：台积电、三星竞争白热化！2022年决战3奈米 专家爆三星进度延迟1季
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发布时间：2021 02 22 11:00
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原文内容：
▲台积电在3奈米制程较原先进度提早。资料照片
图片来源 : 苹果新闻
台积电和三星竞争白热化，尤其双方都宣称将在2022年量产3奈米，台积电董事长刘德音
近日才对外释出3奈米制程进度比原先提早讯息。对此，微驱科技总经理吴金荣指出，从
供应链传出，由于三星采用GAA（闸极环绕）技术生产3奈米芯片，工程技术难度较台积电
的FinFET（鳍式场效电晶体）倍增，因此三星的3奈米制程进度可能延迟1季。
吴金荣表示，三星继5奈米制程量产成功后，三星高层宣称将于2022年量产3奈米制程，而
台积电董事长刘德音于2020年11月24日在南科3奈米厂上梁典礼中指出，台积电预计将于2
022年下半年量产3奈米制程，初期产能每月约5.5万片，2023年则提高到10.5万片。
不过，吴金荣说，从相关供应链传出，由于三星采用GAA（闸极环绕）技术生产3奈米芯片
，工程技术难度较台积电的方法倍增，因此三星的3奈米制程进度可能较原先的进度往后
再延迟1季左右。
台积电在14/16奈米制程时采用FinFET（鳍式场效电晶体），到3奈米继续用，三星5奈米
制程原先市场都认为良率并不是很好，后来接到高通骁龙888芯片后确定可以成功量产，
但小米11手机是用骁龙888，很多人去测试三星制造的骁龙888，结果和台积电5奈米生产
的华为和苹果iPhone12的5奈米芯片相比，事实上是比较不好。
三星号称2022年开始量产3奈米，台积电也预计在2022年下半年量产，但刘德音宣示一旦
量产月产能就要有5.5万片，但3奈米有个问题，目前EUV机台恐采双重曝光才能完成，另
一解决方式是采用ASML最新的高数值孔径镜头EUV（型号：EXE:5000）将于2022年下半年
推出，3~4亿美元，是用钱堆起来的生产能量，进入门槛很高。
吴金荣分析，台积电在EUV布局上是处于领先地位，2020年台积电共有34台EUV，今年底预
计将有55台，而三星在2020年约有19台EUV，今年底则将达30台。
另外，台积电不断扩大资本支出扩充产能，在晶圆出货量预估方面，台积电目前7奈米产
能每月约12万片，今年将扩充到14~16万片；5奈米产能每月约9万片，今年将扩充到10~12
万片；5奈米在今年上半年预计出货65万片、7奈米出货85万片、成熟制程出货约410万片
。（萧文康／台北报导）
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GG虽然3mn量产领先
但是GAA的技术是否更高端？
尤其是栅极覆蓋范围更大 在性能及效率会不会比finfet 好？
看来gg是不能懈怠的