DRAM大冲击 美光厂遭污染抢救中
记者简永祥∕台北报导联合报
DRAM大厂美光桃园厂区旗下N2晶圆厂因供应氮气的氮化纯化厂遭污染，导致逾百台机台全
数遭到污染，到昨天为止仍处于处工状态。美光正全力抢救，但估计数万片晶圆将报废，
严重冲击DRAM供应。
美光昨天紧急出面澄清，坦承厂务系统确实出现些微错误，但已迅速解决并恢复正常运作
，对产出没有影响。不过，根据协助的设备商透露，美光的N2厂遭到污染事件，比想像还
严重，到昨天为止还是全数停工状态。
据了解，美国桃园厂N2十二吋厂这次发生氮气污染，主因是供应制程所需的氮化纯化厂，
未做到纯化氮气，导致水气渗入，再输送到制程的生产机台，估数逾百台设核心生产DRAM
生产线遭到污染，重创美光桃园厂DRAM生产线。
截至目前为止，台湾美光还不愿对外公布受损晶圆及何时可重新复工。据设备厂推测，美
光可能能重新检修桃园厂的氮气纯化厂，相关生产机台也必须检修，恐非短期可复工。
稍早业界估算，美光这次N2厂区受污染事件，除了产线上数万片DRAM晶圆得报废外，这座
晶圆厂月产能达六万片，在复工期拉长的情况下，对DRAM产业供应，将有一定的程度的影
响。
集邦预估将影响全球约百分之五点五产能供应，对供货吃紧的DRAM市场来说无疑雪上加霜
，现货价格昨应声上涨百分之二点六至三点二。
by早上收到的UDN电子报