三星晶圆代工：7奈米EUV部分制程明年导入量产 惟全面扩张EUV新产线导入量产落在
2020年
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三星电子(Samsung Electronics)旗下晶圆代工事业部日前在日本举行2018年三星晶圆代
工论坛(Samsung Foundry Forum 2018)，会中接橥了好几项重要的晶圆代工业务相关宣布
事项。除了重申将在未来几个季度内开始导入极紫外光(EUV)设备开始量产(HVM)计画外，
更在其晶圆代工产品蓝图中增加了一项全新的8LPU制程技术，预计将在2018年展开风险试
产，可望在韩国器兴S1晶圆厂从2019年起导入量产。
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根据AnandTech、PC Watch等媒体报导，随着全球晶圆代工二哥GlobalFoundries(GF)甫于
上周宣布无限期搁置7奈米以下先进制程布建进程，退场7奈米制程竞赛之后，全球晶圆代
工业者之中只剩下台积电以及三星、英特尔(Intel)成为10／7奈米竞赛中的三雄对决。
相较于台积电第一代7奈米制程早就在2018年第1季量产，并且已经正式出货客户，估计可
望贡献第3季营收占比1成，挹注第4季营收比重超过2成以上。英特尔的10奈米制程首款PC
处理器Cannon Lake芯片却要一再延宕到2019年第4季才能上市。有鉴于此，三星晶圆代工
事业部的7奈米进程，就显得格外重要。
三星曾经在2017年承诺将从2018年起展开7LPP制程风险试产，报导指出，三星似乎已经展
开部分7LPP系统单芯片(SoC)生产工作，但应是以供应母公司为止，并未有对外出货纪录
。有鉴于7LPP制程将是三星晶圆代工旗舰型制程技术，预期将首先导入在打造母公司三星
旗下的行动系统单芯片Exynos系列处理器可能性最高。
而在日前的三星晶圆代工论坛日本场次中，该公司表示业已装机完成好几台ASML
Twinscan NXE:3400B EUVL步进机系统，座落于韩国华城的S3晶圆厂中，尽管三星并未透
露业已装机完成的EUV设备数量，但仍表示上述曝光机(scanners)的效能表现与其量产目
标符合一致。
不过，值得注意的是，尽管三星宣称投产7奈米制程的同时，也将一起导入EUV设备使用，
但三星初始利用EUVL设备的生产制程将仅只用其在选择性层次而已，一开始预期将不会广
泛性地使用整个新设备。事实上，有鉴于EUV制程也可说是首次应用在量产工作，三星目
前7奈米客户正式对外透露的也有高通(Qualcomm)一家而已，高通业已选择三星晶圆代工
7LPP制程为其Snapdragon 5G系统单芯片负责生产，预计2019年交货。
三星表示，旗下晶圆代工事业部业已斥资6兆韩元在华城晶圆厂S3兴建EUV新产线，这是利
基于华城EUV研发产线成功之后，进一步积极扩张EUV曝光技术，该产线预计将在2019年完
工，估计2020年开始全面展开晶圆代工量产工作。然而，即使三星能够从2020年顺利全面
量产，相较台积电从2019年第2季量产第二代7奈米EUV制程，也相对晚了3~6季，而且台积
电此前还有第一代7奈米制程练兵经验，尽管7奈米制程被业界人士称为长寿制程，但三星
恐怕是打破了先前宣称率先业界7奈米EUV量产的豪语。
有鉴于此，三星涉及EUV设备的投产量产工作，至少在未来好几个季度以内，都会侷限在
华城S3晶圆厂进行。业界观察，或许这也是何以三星晶圆代工事业部此番突然在产品蓝图
中增加8LPP与8LPU制程，提供客户服务选择的原因之一。
心得：
台积电、三星及英特尔(Intel)等晶圆代工事业成败系于EUV产线，三星身为整合元件制造
商(IDM)，其实已累积相当多EUV产线实作技术诀窍，2019年三星7奈米制程一旦确保稳定
良率之后，势将与台积电在高附加价值产品群展开激烈厮杀。