[学术] 孔洞有助温度均匀分布?
楼主: Tsuyokunaru (小强) 2014-06-05 00:22:06
看了一篇paper
MEMS Electronic Nose
里面其中一段提到heater的设计
看得不是很懂
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第三行到第五行 这段到底是指? 究竟热的逸失重要还不重要?
第六到八行 是指该heater是由两层材料以上组成的吗 (polysilicon layer+其他)
然后这样会使其温度不至于高到跟只加热单一polysilicon层一样?
(那干嘛不控制加热的温度就好?)
然后再来提到为使温度分布均匀 会在heater上挖直径30奈米的圆孔
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第三行到第五行 这段到底是指? 究竟热的逸失重要还不重要?
第六到八行 是指该heater是由两层材料以上组成的吗 (polysilicon layer+其他)
然后这样会使其温度不至于高到跟只加热单一polysilicon层一样?
(那干嘛不控制加热的温度就好?)
然后再来提到为使温度分布均匀 会在heater上挖直径30奈米的圆孔
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为何挖孔可使温度分布均匀?
问题很多Q___Q
希望有人可帮我解惑 谢谢
MEMS Electronic Nose
里面其中一段提到heater的设计
看得不是很懂
第三行到第五行 这段到底是指? 究竟热的逸失重要还不重要?
第六到八行 是指该heater是由两层材料以上组成的吗 (polysilicon layer+其他)
然后这样会使其温度不至于高到跟只加热单一polysilicon层一样?
(那干嘛不控制加热的温度就好?)
然后再来提到为使温度分布均匀 会在heater上挖直径30奈米的圆孔
第三行到第五行 这段到底是指? 究竟热的逸失重要还不重要?
第六到八行 是指该heater是由两层材料以上组成的吗 (polysilicon layer+其他)
然后这样会使其温度不至于高到跟只加热单一polysilicon层一样?
(那干嘛不控制加热的温度就好?)
然后再来提到为使温度分布均匀 会在heater上挖直径30奈米的圆孔
为何挖孔可使温度分布均匀?
问题很多Q___Q
希望有人可帮我解惑 谢谢
作者: ewings (火星人当研究生) 2014-06-05 16:26:00
牵扯到微尺度热传，请洽MEMS版