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[闲聊] EUV光刻取得突破 清华大学开发新型光阻

楼主: DoraGian (饮冰)   2025-07-27 10:21:22
https://udn.com/news/story/7331/8897788
北京清华大学宣布，该校化学系许华平教授团队在EUV（极紫外光）光刻材料上取得重大突
破，开发出一种基于聚碲氧烷（Polytelluoxane, PTeO）的新型光阻剂，为先进半导体制造
关键材料提供新的设计策略。相关研究成果已于16日发表于期刊《科学前缘》（Science Ad
vances）。
光阻剂好像都买日本的
作者: Sougou (搜狗)   2025-07-27 10:47:00
北京清华大学是真的顶
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