[闲聊] FIB技术流程大解析

楼主: DoraGian (饮冰)   2024-04-28 13:04:27
https://technews.tw/2024/04/22/ic-circuit-repair-process-analysis/
FIB 线路修补又叫做线路编辑(circuit edit),一般简称 FIB, 是一种针对 IC 上的 layo
ut 进行修改而研发的一种仪器。FIB机台有许多功能,包括应用在结构或故障分析上的局部
截面观察与 TEM样品制备。建议委案时说明要执行线路修补,如仅提及 FIB,可能会造成误
解。线路修补使用的机型是属于单束(single beam),意思是使用离子束(Ion Beam)进行离
子撞击移除表面物质,作为线路切割的工具,如果要进行线路连接,则必须镀金属层,如钨
,将两条以上的金属线连接起来,搭配 W(CO)6 的气体,在经过 Ga+ 离子束分解后便可达
成钨的镀层(图一)。
以前送过几次
原来是这样做
不过当时是送到尉华做
还有听说FIB厂商说做出来的0%
老板还硬要送的case==
作者: MeiHS (囧)   2024-04-28 13:06:00
花钱拿报告吗?

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