中国那机器是乾式的，大概是做28nm。
只是DUV曝光机的中阶水准。
而且这台机器是否为全国产，是否能真正商业化，都还不知道。
这台机器和周边设备的适配性还不知道。毕竟原来机器全是配合ASML 的
用这台机器做良率会下降吗？
还有DUV曝光机，中国一定有ASML 更高阶的，有2100di型号的。
这样反向制造还做了蛮久的。
EUV曝光机，中国连实体机都没看过。要做还很遥远。
而且现在EUV曝光机已经有第二代了。而且很可能有第三代。
中国还蛮早的。