柯韩粉知道一堆晶圆厂都有办法做出7nm吗
但能不能赚钱是另一件事情
没有一定的商业规模
成本是很高的，没什么人帮你摊
不过中国，韭菜多，没差
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事实上，台积电前研发副总、浸润式微影之父林本坚于2021年底就曾直言，尽管在多方箝
制下，中芯的技术至少可做到5奈米应没问题，不一定非得要用高阶昂贵的EUV设备技术才
能实现，此番言论也打破外界认为中芯在28与14奈米奈米止步的预测。
半导体业者也表示，DUV机台多用在成熟制程芯片生产，但先前三星、台积电也都有用在7
奈米制程世代，透过DUV的193奈米浸润式ArF微影生产。台积电数年前就表示，7奈米制程
于2018年4月正式量产，第二代7奈米(N7+)技术于2019年上半量产，为业界首个商用EUV制
程技术。
但中芯若想迂回以DUV多重曝光，来达到与EUV的13.5奈米波长等效，在整体成本与良率上
将付出高昂代价。
不过如林本坚所言，尽管制造困难与成本过高，中芯愿意付、也付得起，只要能量产就是
一大成功，规模大小是另一回事，因此中芯即使在没有EUV设备下，推进至5奈米应该还可
以，然此钜额研发支出能撑多久，本土手机、AI芯片厂谁会大量采用都是问题。
现阶段在美方严控下，中国半导体自主推进之路不时就将卡关，以ASML来说，虽是荷兰企
业，但光源来自于美国Cymer，光学模组来自德国蔡司，计量设备来自美国，关键零组件
来自多国供应链采购，除了台积电外，ASML算是也身不由己的企业。
半导体设备业者就表示，除了台积电是大家的衣食父母外，中国半导体产业早已全球前十
大设备甚至所有设备材料厂的最大市场，美国政府可以箝制中芯等业者，但手段太过激烈
，除了引发全球政经动荡剧烈外，恐将适得其反，毕竟，众多设备材料产业链都是美国大
厂所掌控，众厂产品无法出口中国，营收恐将大跌。
中国发展半导体自主技术与国产化的意图强劲，但在目前的箝制下，数年应也难进入先进
制程战局。断了中芯等中国大陆的EUV与DUV供应，实也断了中国的晶圆自主制造目标，但
也断了全球半导体设备材料产业链的庞大商机。