中时
中微半导体5奈米刻蚀机通过台积电验证
https://www.chinatimes.com/realtimenews/20181218003298-260410
解放日报18日报导，近期大陆的中微半导体自主研制的5奈米等离子体刻蚀机经台积电验
证，性能优良，将用于全球首条5奈米制程生产线。
报导称，5奈米相当于头发丝直径的二万分之一，是积体电路制程工艺最小线宽。台积电
宣布2019年将进行5奈米制程试产、预计2020年量产。
根据国际半导体产业协会资料显示，2018年第三季，中国大陆半导体设备销售额首次超越
韩国，预计2019年将成为全球最大半导体设备市场，包括中微半导体、北方华创在内的大
陆设备厂商有望提高设备渗透率。