突破“瓦圣纳”封锁 中买芯片核心机台
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2018-05-22
长江存储购买ASML EUV微影机 已运抵武汉
〔编译卢永山／综合报导〕根据中国“每日经济新闻网”及日本“日经新闻”报导，中国
两大半导体业者长江存储及中芯国际，已先后从荷兰半导体设备制造商艾司摩尔（ASML）
订购两台高阶EUV（极紫外线）微影机台，总价值人民币十二亿元（约五十六亿台币），
突破“瓦圣纳协议”封锁。
中国两大半导体业者长江存储及中芯国际，已先后从荷兰半导体设备制造商艾司摩尔（
ASML）订购两台高阶EUV（极紫外线）微影机台。（法新社）
中国两大半导体业者长江存储及中芯国际，已先后从荷兰半导体设备制造商艾司摩尔（
ASML）订购两台高阶EUV（极紫外线）微影机台。（法新社）
全球四十国在一九九六年签署“瓦圣纳协议”，禁止向非缔约国出口敏感的高科技技术；
EUV是生产大型积体电路的核心设备，对芯片精密度有决定性的影响，而从荷兰电子巨擘
飞利浦独立出来的ASML，其高阶EUV的全球市占率高达九十％。
中芯订购 预计明年交货
报导指出，长江储存向ASML订购的EUV机台已运抵武汉，价值七二○○万美元；中芯国际
也向ASML订购一台EUV，价值达一．二亿美元，预计二○一九年交货。长江储存是紫光集
团与中国国家积体电路产业投资基金（俗称大基金）、湖北科投等于二○一六年合资成立
；中芯国际在两千年成立，是目前中国最大的半导体业者。
“日经新闻”指出，中国两大半导体业者向ASML订购高阶EUV，凸显该国想快速提升国内
半导体制造技术，尽管中国半导体制造技术仍落后全球顶尖大厂至少二到三代制程。
全球三大半导体厂的台积电、英特尔和三星电子，已分别向ASML订购高阶EUV，台积电今
年订单高达十台，三星电子约六台，英特尔约三台，格罗方德也向ASML订购一台；ASML上
个月发布财报表示，今年预计将出货廿台EUV，但未公布订户名单。
ASML表示，公司对全球各地包括中国客户一视同仁，根据“瓦圣纳协议”，对中国客户出
售EUV并无限制。
瓦圣纳协议》管制敏感科技 输往威权国家
“瓦圣纳协议”是世界主要的工业设备和武器制造国在1996年签署，目的在管制常规武器
和军民两用等敏感技术输往中国、北韩及伊拉克等威权国家，目前共有美国、日本、英国
、俄罗斯、荷兰等40个成员国缔约。
“瓦圣纳协议”规定成员国自行决定是否发放敏感产品或技术的出口许可证，并在自愿基
础上向其他成员国通报有关讯息，但实际上由美国主导；例如2004年捷克拟向中国出口“
无源雷达设备”时，美国就向捷克施加压力，迫使捷克停止这项交易。
近来中日媒体报导，中国两大半导体业者已从荷兰艾司摩尔（ASML）取得两台高阶EUV微
影机台，突破“瓦圣纳协议”封锁；但先前ASML中国区总裁金泳璇接受访问时强调，EUV
并非管制项目，要进口到中国完全没有任何问题。（编译卢永山）
小辞典》EUV微影机 跨入5奈米关键
EUV（Extreme Ultraviolet，极紫外线）微影机又称为光刻机或曝光机，原理就像是照相
机，将电路图经过EUV，投射到涂满光敏胶的硅片（就像是底片），蚀刻掉一部分胶，露
出硅面做化学处理来制造芯片，过程得重复几十次；EUV的镜头是由20多块大镜片串联组
成，镜片得做到均质，才能达到高纯度透光及抛光；艾司摩尔（ASML）的镜片是由蔡司技
术打底，花了数十年技术累积。
目前半导体制程的主流光源是氩氟雷射，波长为193奈米，但随着电晶体微缩到20奈米、
甚至10奈米以下，就像用一支粗毛笔写蝇头小字，加工越来越困难，而极紫外线的波长仅
13.5奈米，被视为是半导体先进制程可微缩到5奈米以下的重要关键设备。（记者高嘉和
）
4.附注、心得、想法︰
26偷抢拐骗 用尽各种手段也要突破封锁
这种狼性 不觉得可怕?
人家说弱国无外交 夹在两大之间的小国 居然不懂得戒慎恐惧
这是我在它版看到的新闻 底下推文一面倒
嘲笑26是买来自嗨 没有人会用 就算要追上台GG 也要很久很久
看完我都不知道 台湾人是不是以为 26是还活在树上的猴子
真正可怕的不是一匹狼
可怕的是我们真的觉得只是一只羊 而自己是狮子
没有人害怕26有天会打趴台GG
真的到了那一天 救得回来吗
26已经上太空了 妳知道吗