※ 引述《s72005ming (QQ)》之铭言：
: 最近传出中国可以自产DUV
: 以中国收买人心的能力
: 难道没办法找到ASML的人帮忙做EUV吗？
: 反正只要不要卖到海外自己用
: 应该就没有专利的问题吧！
: 就算有中国法院应该也会判外国原厂败诉
目前做不出来
应该说目前没有单一国家做得出 EUV ，
光源是美国发明的，镜片是德国 Zeiss , 高功率雷射来自德国
日本也贡献许多部份，组装系统是荷兰的 ASML
而且是验证完毕的系统
但是但凡以上缺席二个国家，大概就做不出来了.
不过现在做不出来不表示以后做不出来，目前还是要一步一步向前推进
DUV 乾式
DUV 溼式
EUV
High-NA EUV
自制 DUV 溼式如果能成功，那靠目前想走的路，
慢慢从 14nm -> 10nm -> 7nm -> 5nm -> 4nm 这样
如果真弄出来，应该可以慢慢打下 DRAM 价格
EUV 至少还有 3 年吧，当年 ASML 花了十年以上，
就算目标明确，能压缩研发时程
但是弄出来的难度颇高，我是不怀疑能弄出来，只是时间和成本问题
问题是你们搞到中国可以全国产这样好吗？