※ 引述《l26921216 (很悠闲的生活～～)》之铭言：
: 陆企DUV微影设备投产
: https://udn.com/news/story/7333/9654508
: 2026-07-28 01:10 经济日报／ 编译陈律安／综合外电
: 科技媒体The Information引述两位知情人士报导，一家由中国大陆政府支持的企业，
已
: 启动生产深紫外光（DUV）微影设备，若成功大量生产，可能影响微影设备大厂艾司摩
尔
: （ASML）的产品需求，拖累ASML盘中挫跌6%。消息人士透露，这家总部位于上海的企业
，
: 已从其他陆企延揽深紫外光人才，包括一家政府支持的芯片设备制造新创上海宇量升科
技
: 。
其实浸没式DUV的验证机通过大陆几大晶圆
厂验证的消息去年就传出来了，今年或明年
肯定能逐步开始量产。
但是大陆的duv研发企业有三家，是哪一家
或两家，还是三家的duv通过验证，目前还
不清楚。
而且ASML的DUV也有很多种，从1900系
列到2000细节，有七八种高中低端产品，
大陆初始的duv可能也就1900系列的能力，
还需要花几年时间，根据晶圆厂的使用反馈
不断改进，才能生产出更好的duv，预估
怎么也要三五年时间。
现在美国关注的是EUV，路透社去年就从大
陆这边搞到消息，说首台EUV的工程样机
已经组装好了。所以这几个月美国政府在
拼命的怀疑是荷兰ASML违反美国政府禁令
出卖了技术资料，本月上升到美国的部长级
高官质疑荷兰，当然荷兰政府和ASML坚决
否认。
当然，工程样机，到技术完善的成品机
还有很多工作要做，还有企业内部的开发和
测试，以及进晶圆厂进行技术验证等很多
工作，当年ASMl这一过程花了5年多时间，
经过了数个版本迭代，才生产出具备实用
能力的量产机。