※ 引述《googolplex (googolplex)》之铭言：
: 陆自制 EUV 预定第3季试产
: 经济日报 编译陈苓／综合外电
: https://money.udn.com/money/story/5599/8601538
: 消息人士透露，中国大陆研发出自家的极紫外光（EUV）微影设备，采用与荷兰半导体
设
: 备制造巨擘艾司摩尔（ASML）不同的技术，设计更简单、更有效率，预定今年第3季试
产
: ，明年量产。倘若消息为真，意味中国在突破美国科技管制上，迈出大步。
: 科技媒体wccftech报导，据@zephyr_z9和@Ma_WuKong在X平台的发文，华为正在广东东
莞
: 工厂测试新设备，这款客制化EUV机台，采用“雷射诱导放电电浆”（LDP） 技术，预
计
: 今年第3季试产，并可能在明年实际放量生产。
去年我在本版讲过这件事
大陆在2019年华为被制裁后，就将EUV的
研发列入了国家督导的计划，而且未采用
传统的研究所和大学研发的模式，改为了
完全商业的企业研发为主导的模式。为了让
计划成功率更高，采取了赛马模式，即让
多家企业同时去做，多个技术路线同时去
开发，大家激烈竞争，胜者活，失败者只能
被市场淘汰。
EUV的研发单位有多家企业，每个子系统
都有多个企业研发，而且各种可能的技术
路线都在走，ASML的LPP方案也有研究。
从2019年到现在已经快6年了，有点初步的
成果很正常，这期间所有企业的进度几乎
都是高度保密，就是担心研发的企业被
制裁影响。
EUV的研发有原理样机，工程样机和量产机
三个阶段，目前每家单位处于什么阶段并不
清楚。
另外即使EUV做出来了，半导体晶圆厂也要
会用，使用EUV的晶圆生产工艺也很复杂，
要长期的测试试验，也不是一蹴而就的。
我猜为了提高进度，EUV原理样机做出来后
，就会拿一台给晶圆产线去研发工艺。EUV
不断改进，半导体工艺也不断改进。
而且大陆的晶圆厂有不少，从DRAM厂和逻
辑半导体厂都有EUV的需求，最起码有三四
家企业需要用这个。
目前处于什么阶段其实并不清楚，真正到
能量产晶圆可能还有不短的距离。
不过只要做，总会成功。而且从0到1难，
但是从1到100并没有那么难。从无至有
的阶段，Asml和台积电都不清楚自己的
路线是不是正确，是摸索的过程。
而现在，后来者是明确的知道EUV是肯定
可行的，技术路线是可以的，半导体工艺
是可以的，所以后来者的开发进度一定是
比先行者快的。