※ 引述《QEMU (五条悟被腰斩了)》之铭言:
: 为啥一个14亿人口的泱泱大国造不出光刻机? 中国人智商比较低吗?
: 有没有八卦?
: 在晶圆微影制程技术中,会将涂好光阻的晶圆借由机械手臂传送到曝光机中先进行对准而
: 后曝光。
: 随着科技的进步,早期接触式和接近式的对准机以1:1的方式将电路图案曝光在晶圆上,但这种作法导致晶圆每次能曝光的图案有限,2000年以后出现了能将电路图案以
: 4:1缩小投影在晶圆上的扫描式对准机,于是晶圆的产能得到4倍以上的生产速度,同时也
: 宣布超大晶圆时代(ULSI)的来临。
应该没有半导体大神会在八卦版, 随便写写
主要是晶圆制造的技术路径要克服的东西比较多
目前应该是可以做到乾式光刻机 (DUV 第一代)
但是就算是 DUV 第一代放眼世界上也是不错的成就
湿式 DUV 就多了一层水, EUV 就是极紫外光
还有光阻剂, 蚀刻沉积,
而除了光刻机以外, 其他的技术也要累积,
像是平台移动的精度和稳定度等等, 这些有些都要用到磁浮系统
后进者研发这些赚不到钱, 所以只能慢慢累积.
理论上美国应该也做不出 DUV 以上的机种, 目前 DUV
ASML/Nikon/Canon 算大宗,
EUV 仅有 ASML 一家.