※ 引述 《twnail (没有你，对我很重要)》 之铭言：
: 中国基础工业、逆向工程 实力
: 我不相信都有DUV sample了
: 会做不出来EUV ??
: 　
: 花点时间1、2年 自制个EUV
: 对中国来说简简单单吧?☺
: 　
: 　
EUV这个东西肯定不是一两年能做出来的。
不过还好，大陆做这个也不是一两年了。
根据公开信息看，十几年前就开始了EUV光源
等子系统研发了，而且是至少三种可能得技术
路线同时在多个研究所进行研究。公开资料里
上海光机所，长春光机所，哈工大，清华大学，
华中科技大学都在进行不同技术路线研究，而
且有至少三家做了原理样机。
公开信息看，2017年EUV的原理样机就做出
来了，但是距离工程化还有很大差距。
随着中美贸易战和技术战的进行，中国科学院
和相关的企业对EUV的研发进度高度保密，但
今年有一个公开的新闻，就是中国科学院院长
白春礼去看EUV的工程样机了。
所以说这个肯定是在研究的，但恐怕有商业
晶圆实用后，才会被外界知道。