很多人酸193奈米 不过这是整部片少数比较正确的资讯
193nm ArF 是DUV采用的光源
光源193nm 不代表 只能做到193奈米制程
事实上台积电不用EUV也可以做到7奈米制程
退一步说 现在最先进的EUV 光源是13.5nm
但是可以做到5奈米 3奈米甚至更低的制程
真正的关键公式是莱利公式
CD=k1 x ( λ / NA)