Re: [问卦] 台积电2nmGAA结构怎么判断良率?

楼主: pinkowa (pinkowa)   2023-02-03 19:04:20
※ 引述《zxc17893 (手写信才能被泪水打湿)》之铭言:
: Guten Tag Damen und Herren
: Es ist funfzig nach sechzehn
: https://youtu.be/nG1ewXHy7Bs
: 就饿死抬头
: 工研院在研发能检查GAA结构型的半导体方法
: 要用X光来检验但还没研发成功
: 那现行2nmGAA半导体的品保检查办法是什么?
: 卦?
我也蛮好奇的,
因为GAA是包在里面。
那如果要检查,
除了元件立体角转90度侧着放外,
大概应该没办法直接从上往下。
还有一种可能就是元件是透明的,
但这在砷化镓还是氮化镓才有见过。
不然一个元件要分好几次制程做检测,
至于检测大概也是用极紫外光。
至于电性测试,每个GATE都测,你要花多久?
WAT还是拿来测RF元件比较有效率。
IC设计上有个名词叫可测性设计。
CP、FT只是帮你规划那些区可以保留。
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但X光应该是最不可能的,
因为X光的动能足以破坏晶体结构。

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