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[问卦] 用电子束曝光能做到几nm

楼主: Max112358 (MAXCHEN)   2022-01-29 12:50:57
如题
台积电先进制程已经朝等效2nm前进
用的是EUV的曝光机
如果用波长更短的电子束来做芯片
不考虑成本问题
这样可以做到等效几奈米的芯片呢？
有没有在台gg相关部门的人有卦
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