中时
美巨头搞小圈圈 台积电遭排挤？教父挖出这段内幕：结局惊人
吴美观
近几年，台积电坐稳晶圆代工龙头老大，在先进制程超越三星、英特尔等对手，后来在 EUV
（极紫外光） 量产也领先，技术上弯道超车英特尔。但台积电前研发副总、浸润式微影之
父林本坚日前回忆一段往事，提到台积电早年发展相当艰辛，2002年英特尔号召业界成立EU
V LCC联盟，台积电也想加入，但当初只限6家厂商，最后一个名额被IBM抢走，台积电就被
排除在外，不过台积电转往浸润式微影技术发展，后来EUV 量产领先，甚至超车当年成立联
盟的英特尔。
财讯快报报导，林本坚日前受访时表示，2002年英特尔拉拢摩托罗拉、AMD（超微）等公司
成立EUV LCC联盟，希望大家共同出资研发EUV设备，并应用于未来的40奈米与60奈米。
当时台积电也希望加入EUV联盟，但因当初只限定6家厂商，IBM抢走最后一个名额，台积电
无缘，而被排挤在外。
林本坚表示，台积电无法参与EUV联盟，只好自己想办法，转而研发浸润式（Immersion）微
影技术，直到近几年的5奈米制程，才采用艾司摩尔的EUV机台设备。
当年EUV联盟的半导体企业中，除了英特尔之外，其他5家已退出芯片制造，而截至目前为止
，英特尔尚未进入EUV量产，从先进制程技术来看，台积电反而大幅超前，稳居全球晶圆代
工一哥宝座。
对于台积电来说，现年79岁的前研发副总经理林本坚是台积电先进技术跃进重要推手，他在
IBM工作22年后，选择在美国自行创业将近10年，2000年在蒋尚义力邀下，加入台积电团队
，并在2002年开始推动浸润式微影技术，此项技术对全球半导体产业及台积电先进制程贡献
极大。
https://reurl.cc/3jD318