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[问卦] 从7nm -> 3nm是不是买台EUV就好?

楼主: yamaha8424 (mm)   2021-10-17 17:23:24
当然还要有轮班星人啦!!
我是问，7nm变成3nm不就曝光曝密一点而已吗?
所以买台EUV，其他蚀刻薄膜扩散阿哩阿杂的都沿用，娃娃机也不用换?
这么简单吗?
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