我简单说2个门槛就好
光罩是要对位
这大家都知道的吧
7nm制程对位误差
至少要小于1/10吧
也就是每次光罩对位
误差要在0.7nm
这已经是原子等级了
可能就一个原子大小
要怎么对到这么精准
光设备精度就要非常非常要求
还有怎么检测有没有对准
这个精度要用电子显微镜了
另外光源会有绕射和散射问题
在这种几乎一个原子的精度下
如何做光源设计也很难
设计出来
工艺还不一定做的到
另外无尘室设备都是特制的
这种高规无尘室
还要考虑机台运转
是否会产生粉尘
还有一堆的小细节
都会影响良率
※ 引述《ejsizmmy (pigChu)》之铭言：
: 你以为你私立文组就可以拿来当挡箭牌吗.......
: 而且关私立什么事，你这不是故意欠战嘛？
: ※ 引述《Stunts (时间.空间)》之铭言
: : 如题
: : 台积电自称市值全球排名22名
: : 上看10兆元
: : 看似富可敌国
: : 但其实最核心的技术还是握在别人手里
: : EUV光刻机一台就能卖一亿美元，可以跟F35一样好赚
: : 小荷兰造得出，台湾不行?
: 公司是荷兰的没错啦，但是生产就不同了
: 你穿的Nike、adidas跟星星帆布鞋都不是母公司国产的，怎么还要期望人家ASML生产的
: 机器一样全是荷兰造的
: ASML的零件一样是靠世界工厂生产的，没有其它人他也生不出来机器
: 听过蔡斯镜片吗？没玩相机没买眼镜的你，知道F35至少也听过蔡斯的光学瞄镜吧？
: ASML的镜片一样是蔡斯造的
: 然而，这只是无数零件的其中一个而已，其它国家制造的东西多的是...只是你不知道而
: 已
: 至于为什么只有他做得出来
: 很简单啊，设计跟整合上，能做出7nm、5nm的光刻机，只有ASML这一家而已
: 其它人当然不是做不出来更低等级的光刻机，是做了没那个市场跟那个利润而已
: 又不是开慈善事业，做了是要卖钱的诶
: 台湾有没有能力设计？当然有
: 湿式光刻技术就是台湾生的，当然有设计能力
: 问题是离开实验室之后的工业量产设计跟制造能不能到位呀，不然你永远只能在实验室
: 里面自嗨
: 至于在别人手里要不要担心？根本不用担心啊
: 世界上能达到这个7nm级别制程的只有三家，三星、台G跟Intel，
: 除了机器外就是这三家的制程技术，这是人家就算买了机器也拿不走的
: 而且台G没必要自己造轮子，
: 你会因为要吃汉堡然后从小麦开始种吗？
: 台G也没必要因为要做晶圆而自己造光刻机
: 他更该把精力集中在制程最佳化跟良率的提升上才对
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