https://udn.com/news/story/7240/3157113 联合报
摩尔定律出现重大突破 1.5奈米将成台积三星下个战场
2018-05-23 01:57经济日报 记者赵于萱、简永祥／台北报导
摩尔定律出现重大突破。外资摩根大通最新报告表示，半导体设备厂艾斯摩尔（ASML）确
认1.5奈米制程的发展性，支撑摩尔定律延续至2030年。重量级分析师一致预期，台积电
与三星新一轮军备竞赛将开打，并以制程领先的台积电胜算较大。
摩尔定律是指半导体制程每18个月，就会推进一个世代。由于电晶体愈做愈小、电路线宽
愈来愈窄，几乎已达到物理极限，一度引起业界忧心半导体先进制程将面临无法继续升级
的问题。
摩根大通科技产业研究部主管哈戈谷指出，艾斯摩尔更坚定摩尔定律可延伸至1.5奈米，
支持半导体产业至少发展至2030年。
此外，艾斯摩尔将在3奈米与更先进制程采用高数值孔径（NA）光学系统；过去艾斯摩尔
为发展NA系统，收购德国卡尔蔡司子公司蔡司半导体。如今外资圈消息进一步证实，艾斯
摩尔将拓展3奈米以下技术。
异康集团暨青兴资本首席顾问杨应超解读，艾斯摩尔技术进展是半导体业一大突破，有利
整个大产业。而在7奈米制程已开打军备竞赛的台积电和三星，战况将更激烈。
Substance Capital合伙人暨基金经理人陈慧明指出，台积电能维持产业龙头地位，靠的
是制程不断进步，因此艾斯摩尔开展1.5奈米制程，不仅有利台积电巩固优势，“对第一
名最有利”，也缓解市场原本担忧，制程技术无法突破下，红色供应链将迎头赶上。
台积电规划，导入极紫外光（EUV）的7奈米强化版会于明年量产；全数采用极紫光外光的
5奈米，则会在2020年量产。