台科大奈米管材质大突破 登国际期刊
奈米技术当红，在太阳能电池、显示器、生物检测、燃料电池等各面项都可多元应用。台湾
科技大学研究团队研发出非晶金属玻璃合金的奈米管，是全球首次成功制造将排列整齐有序
的金属奈米管阵列在硅晶圆上，获刊登于顶尖国际期刊“今日材料”《Materials Today》
。
国际顶尖期刊“今日材料”《Materials Today》是由世界上最大学术期刊文献出版社的爱
思唯尔( Elsevier)出版，是影响因子(Impact Factor)高达21.695的顶尖期刊，每年刊登材
料科学领域具突破性且高专业的研究论文约40篇，是世界上公认高影响因子权威期刊之一。
台科大校长廖庆荣表示，台科大研究团队不仅能在重要的国际期刊上有突破性的研究成果，
更重要的是研究成果能有实务的应用价值，期待这些研究成果都能应用在民生相关的用途上
。
台科大研究团队由材料系教授陈建光、朱瑾，应科所教授郑智嘉，以及硕士生陈威廷、博士
生游家齐组成；研究团队表示，奈米管大多为碳质或是陶瓷氧化物材料，且多为混乱排列结
构，如果要排列整齐的奈米管，其制程困难、繁琐，且很难大面积化，因此尝试使用不同的
材料应用在奈米管上，希望能让半导体制程更有效率并降低成本。
台科大研究团队利用非晶金属玻璃的合金具有较高强度的特性，结合简易的半导体微影制程
及溅镀镀膜方式，成功地制造排列整齐有序之金属奈米管阵列在硅晶圆上，更难得的是，可
于0.5 X 0.5公分的晶圆上制造出逾2500万支的金属玻璃奈米管。
台科大材料系教授陈建光表示，研究团队可借由纯熟、可量产、大面积化的半导体微影技术
，轻易调整奈米管的尺寸，此技术制程简易且皆于常温下进行，能制备在各种材质上，如硅
芯片、玻璃、聚合性高分子等。
台科大材料系教授朱瑾说，未来研究团队期望将金属玻璃奈米管阵列应用在生物传感芯片上
，能提供更快速更精准的检测，更能解决传统半导体硅奈米元件高成本及定量检测不易的问
题，对于生物传感芯片之开发与制造将会有很大的突破，其应用更是广泛与深远。
http://www.chinatimes.com/realtimenews/20171205002790-260405