卦点
台积电新厂用电超过东台湾，烧火力未来CO2，PM2.5会狂喷
随着台积电营收持续创新高，未来用电量会进一步暴增
左胶文组会说天然气很干净，根本没想过会狂喷CO2造成全球暖化
还是这时候喷CO2造成全球暖化就可以无视了
大潭天然气接收站破坏珍贵藻礁呢，行政院长林全却认为不能一直拖延
日本从启核电电费下降了呢
台电总工程师李鸿洲：核电成本每度0.66
https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1502545882.A.E7E.html
核能学会：核电厂应延役 “以核养绿”
https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1502517360.A.240.html
http://m.ltn.com.tw/news/life/paper/627056
{天然气每发一度电成本是三．二到三．四元左右，核能成本一度为○．六九元。
台电不知道未来二、三十年后天然气价格与供应量如何？但只要发生没气而缺电，对民众
与产业而言，“发生一次就来不及了”。}
{6月29日，川普在美国能源部（DOE）发表了主题为“能源主导权”（energy dominance
）的演讲。除了重申美国能源独立的目标外，川普还宣布了一系列能源新政。“我们将开
始重振和扩大核能部门。
在当天的演讲中，川普宣称要让美国实现在全球能源市场的主导地位。“我们有幸拥有非
凡的能源资源，这是五年甚至十年前我们所不知道的。在能源领域，我们拥有主导权，我
们不想被别的国家剥夺主导权，并告诉我们做什么、怎么做。这不会发生。”
美国能源部长里克杨堥翩]Rick Perry）曾在公开场合支持川普说我们要做的事之一，就
是让核电重新流行起来。}
文组在吵核废问题的也根本是一个笑话
https://goo.gl/jpyBGg
{两年多前，台电打算将核一二厂的部分用过核子燃料棒（1200束）送至法国再处理，绿
盟硬生生挡下台电的计画。
再处理很贵？核燃料平均可使用四个周期（六年），以六年来说，发电量最小、炉心拥有
408束燃料的核一厂1号机，可以发300亿度电。按此计算，1200束的燃料棒可以发出近900
亿度电，花112.5亿元处理，摊提到每度也不过0.13元。
核武扩散？绿盟宣称，核废料里残存的钸会导致核武扩散，这真是可笑。法国自己就是核
武与核电大国，何必收集台湾燃料棒中的渣滓做核武？核武到底因此扩散到哪？显然不合
逻辑。
二十年后运回台湾？没错，但是处理后的核废料体积只剩原有的五分之一，放射性也下降
。若每度核电花0.13元处理，本来需要五个场址变成一个场址，有什么不好？而且那些是
经过玻璃固化的物质，体积超小又没有危险性，没有比这更不影响环境的工业废弃物了。
}
左胶文组到底有没有想过台湾电力结构若是80%核电，20%绿电，除了电价超低，碳排放量
也超低，火力全开是台湾平地种满树都远远吸收不了的碳排放量，全球暖化不重要了是吗
fb连结
https://goo.gl/Jegq6b
Fb内文
或许很多人都不记得，张忠谋 2 年前就曾预估到今日的缺电危机，而这样的危机对产业
影响相当大...
https://technews.tw/2017/08/12/tsmc-energy-used/
全台湾用电过去 5 年的增加量，约三分之一由台积电贡献。接下来，随着导入“救世主
”技术──EUV 微影技术，用电还会暴增。台积电评估，5 奈米制程用电会是目前主流制
程的 1.48 倍。
很多人都忘了，台积电董事长张忠谋曾在 2 年前准确预言今日的缺电危机。
2015 年底，当时的总统马英九到参观台积电中科厂。当时张忠谋便指出，目前台湾最大
的隐忧之一就是缺电，他并指出台湾 2017 年可能面临限电危机，“这对产业影响相当大
”。
张忠谋并随后在媒体提问时指出，停电对于台积电的影响“几乎不可估计”。他说，台积
电每个厂都有备用电源，但备用电源的用电成本比起台电提供的电贵 3 倍，如果未来长
期限电“这就很累了”。
其实，过去一段时间，张忠谋几乎每次公开发言，都会提到“电”。他到底在担心什么？
答案就藏在今年 1 月 18 日，环保署通过的台南科学园区扩建案的环境差异影响评估里
头。
因为台积电计划于 2020 年量产的 5 奈米制程，决定放在南科厂，导致南科的用水、用
电量暴增，大幅超过当初园区的规划量，因此依法得做环境差异影响评估。
用电增幅狂飙 46%
其中，用电增幅极为惊人，从原本规划的 152 万瓩，增加至 222 万瓩，大幅增加 46％
。
根据南科管理局提供给环保署的文件，台积电的 5 奈米制程，估计用电量 72 万瓩，几
乎与南科申请新增的用电功率相当。
这个数字究竟有多大？根据台电资讯，东部用电量约在 40 到 50 万瓩之间。也就是说，
台积电一个新厂的用电量，将比整个东台湾 56 万人口的用电量还多上不少。
半导体的制造，本来就是高度耗电的过程。尽管台积电每年花费偌大人力、心力节省电力
，但仍改变不了，采用各种先进科技及复杂化学品的晶圆厂、同时也是吃电大怪兽的事实
。
根据台积电企业社会责任报告书，2016 年用电量为 88.53 亿度，较前一年增加 11％。
这个用电成长率，与台积电业绩的成长高度符合。台积电董事长张忠谋在 2009 年重新接
任执行长之后，每年法说会都向投资人保证，每年营收都会维持二位数成长，用电量也大
致维持相同比例成长。
结果是，过去 5 年间，台积电大举扩产，股价与业绩一再创下新高之际。总体用电量也
增加 102％，整整翻了一倍有余。
“救世主”技术上线，却是吓死人地耗电
台积电也因此成为台湾用电成长的主要“贡献者”之一。
根据能源局统计资料，同时间全台湾工业部门的用电仅增加 6%。而这个增加量当中超过
一半是台积电贡献。
全台湾用电量，过去 5 年的增加量当中也有 33.6%，差不多三分之一的增加量由台积电
贡献。
而且，在可预见的未来，这家世界级半导体天王每年用电增加的幅度，只怕还会加速扩大
。因为半导体制程技术，又到了改朝换代时刻。
台积电预计 2019 年量产的 7 奈米制程的第二版本──7 Plus，部分制程将首度导入极
紫外光（EUV）微影制程，这是半导体产业期待已久的“救世主”技术。
目前半导体制程的主流光源是氩氟雷射，波长为 193 奈米，当电晶体尺度已微缩到几十
奈米时，就像用一支粗毛笔写蝇头小字一般，生产起来有点力不从心。这也是近几年，摩
尔定律即将告终的声浪不断的主因。
极紫外光的波长仅有 13.5 奈米，业界期望这支“超细字小楷”能够让摩尔定律再延伸至
少 10 年。
洒百亿购入梦幻设备 È洛H买下两架 A380
今年 1 月，台积电 5 奈米案环差评估案通过的同一星期。独家生产 EUV 微影机台的荷
兰商艾司摩尔（ASML）在法说会宣布，已接到 EUV 微影机台 6 部订单。根据《霸荣周刊
》（Barron’s）报导，分析师推测，台积电订走了其中 5 台，亦即一口气买下 5.5 亿
美元（约 167.8 亿台币）的设备。
这个价钱，几乎可以买下两台世界最大民航机──空巴 A380。
除了昂贵之外，但对台湾而言，EUV 这个“救世主”技术还有一个大缺点──耗电。
有多耗电？“吓死人！”台积电 300mm Fabs 厂务处资深处长庄子寿心有余悸地说。他今
年 3 月在一场记者会接受《天下》访问时表示，他希望未来台积电 EUV 用得“愈少愈好
”，“因为太贵了，用的电也太大了。”
艾司摩尔至今尚未公布 EUV 机台的耗电功率，但世界第二大内存制造商、韩国的 SK
海力士曾在 2009 年的 EUV嚒ymposium 表示，EUV 的能源转换效率（wall plug efficie
ncy）只有 0.02% 左右。
这个数字现在广为业界引用。也就是说，当前最先进的 EUV 机台能输出 250 瓦功率的 E
UV，需要输入 0.125 万瓩的电力，这个耗电量是传统氩氟雷射的 10 倍以上。
“要把光压到这么短的波长，需要很强很强的能量，”庄子寿解释。
连冷却系统用电也不容小觑
事实上，过去几年，EUV 机台的输出功率过小，迟迟无法达到量产要求，是这个梦幻技术
一再延误上市时机的主要理由。
台积电法说时，负责先进制程的共同执行长刘德音也常被分析师问到，他期待的 EUV 机
台功率、量产速度各为多少？
在 5 年前，艾司摩尔试验机台的输出功率还仅有 25 瓦。但就在上个月，该公司达到历
史里程碑。在旧金山的 2017 年 Semicon West 半导体设备展，艾司摩尔宣布，该公司已
成功地将 EUV 光源功率提升到 250 瓦，晶圆生产速度因此达到每小时 125 片──这都
是台积电、英特尔等大客户之前提出的量产最低要求。现有的微影系统量产速度为每小时
200 片以上。
为什么提升功率这么难？
曾与台积电合作 EUV 光源研究的台大电机系教授黄升龙解释，主要是卡在散热问题。他
在台大的 EUV 实验机组，输出功率仅有毫（千分之一）瓦等级，水冷系统整个架起来就
有一个房间这么大。晶圆厂的 EUV 量产系统输出功率是台大的上万倍，要怎样将热导出
去，是很复杂的技术难题。而且，“冷却系统也得耗上不少电，”黄升龙说。
整个 EUV 技术商用化的过程之艰辛、投入研发金额之钜，堪称半导体业的“登月计画”
。曾有业者估计，整个业界投入的研发经费超过 200 亿美元（约台币 6,100 亿元）。
EUV 称为“极紫外光”，但物理特性与一般常见的紫外光差异极大。
首先，这种光非常容易被吸收，连空气都不透光，所以整个生产环境必须抽成真空；同时
，也无法以玻璃透镜折射，必须以硅与钼制成的特殊镀膜反射镜，来修正光的前进方向，
而且每一次反射仍会损失 3 成能量，但一台 EUV 机台得经过十几面反射镜，将光从光源
一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到 2% 的光线。
这也是 EUV 机台如此耗电的主因之一。
为了确保供电，台积电曾考虑自盖电厂
然而，半导体除了最核心的微影，还有蚀刻、蒸镀、平面化等多道制程。导入高耗电的 E
UV 光源，这道制程对于整厂的用电影响有多大？
这次南科新厂的环差评估过程，台积电主管出示的一张投影片，给了清楚的答案。
若以厂房单位土地规划用电来算，5 奈米制程用电是当今台积电的主流 28 奈米制程的 1
.48 倍。也就是说，如果同样都是 40 公顷的厂区，2020 年量产的 5 奈米制程，总用电
会是目前的一倍半。
“而且，5 奈米应该只有一半制程用到 EUV，”一位外资分析师说。他表示，由于 EUV
技术极为昂贵，台积电仍只有在部分较难的制程才采用新技术。但到了在下一个世代，已
经逼近摩尔定律极限的 3 奈米制程，EUV 采用比例就会大幅增加，用电量会进一步暴增
。
去年 6 月，行政院长林全首度透露，台积电有意自盖电厂。这位分析师表示，当时台积
电就是担心大量导入 EUV 光源的 5 奈米制程，南科电力系统无法负荷，直到台电出具供
电保证，才打消念头。
一位台积电前主管表示，台积电的企业文化是高度专注本业，像自盖电厂这类事，“过去
根本连想都不会想，会去考虑这件事，就表示缺电非常严重。”
但接下来更耗电的的 3 奈米制程，便传出台积电有意设厂美国，除了土地与环评，电力
稳定度也是考量因素之一。
在第二季法说会上，台积电共同执行长刘德音表示，3 奈米的选址决定明年上半年将会正
式决定，目前仍是以台湾为优先。