http://www.setn.com/News.aspx?NewsID=103219 三立
跟三星拼了！台积电打造绿园区 废水分离年捞3亿
记者许智雄、李宣／台中报导
面对外界对中科环保议题的抗争，晶圆龙头台积电以实际行动对环保贡献心力，首度开放
排废气厂设备，这些不只可以将废弃物还原无毒物质，还能为台积电赚钱，一年有超过3
亿元进帐。
绷紧神经实施防火演习，这里是台积电安控中心，因为出一点差错可能就会让台积电损失
上亿元订单。记者李宣：“看我戴着工程帽，就知道我今天来到台积电位在中科的15厂，
那么这里专门生产12吋晶圆，所生产出来的半导体废弃物，都会经由我背后这些设备转化
成为有用的回收物质，我们来看看台积电是怎么办到的，马上带你来直击。”
为了消除外界对台积扩建十奈米制程厂房的环境影响，台积电首度开放空污排放设备，在
这里呼吸的每一道空气都经过过滤，台积电砸下22.6亿元打造，将半导体制程所排放的废
气，分成六台技术专管分离之后，再一起进入洗涤塔。
记者李宣：“通常我们看到这种具有腐蚀性的酸碱液体，我们都会感到非常的害怕，不过
台积电就有办法把它点石成金。”看在台积电眼里，这些废硫酸加入盐酸后，最后取出的
氨水可是很有价值的，卖到外头化学处理厂，一年效益高达3亿元。
台积电Fabs资深处长庄子寿说：“外面的是工业级的硫酸，就有很多化工厂会使用，那我
们自己也把处理过的废硫酸跟氨氮的废水做反应，得到硫酸铵，那价值更大，因为氨水可
以卖更多的钱。
把废弃物变成有价值，台积电用这招“点石成金法”让外头的化学处理厂抢著做这门生意
，而10奈米制程赶在明年试产，台积电箭在弦上不得不发，解决危害环境杂音，也等于解
决订单疑虑