楼主:
whsh3310 (QQTTQQ)
2015-08-19 22:16:08个人觉得 台积在半导体制造业最领先的技术 应该是黄光
半导体制程上千百道
photo/etch/PVD/CMP/CVD loop 循环不断
里面最能拿出来在世界舞台上展现的
就是当初蒋尚义找来的拍照高手-林本坚 提出的immersion 一台造价数千万美金
到目前为止一直都是半导体最贵的机台
其他制程不敢说 就单纯以黄光而言
林本坚如果说甘愿当老二 那绝对没有人敢站出来说自己是老大
当初林本坚 硬把ASML研发认为的下个世代的157nm计画整个翻盘
http://sa.ylib.com/MagCont.aspx?PageIdx=1&Unit=featurearticles&Cate=&id=718&year=
虽然当初157nm卡住的问题很多 林本坚就是最后一根压垮骆驼的稻草
逼得当时已经投入数十亿美金的计画就这样停止
林本坚提出的 193nm immersion 成功的沿用到现在
而下一世代的EUV....碰到瓶颈可是比当初157nm卡的更大更多
前阵子台积把ASML的股票卖掉 个人解读就是台积高层其实对ASML的EUV信心不大
不过林本坚与台积RD当然也不会就这样闲在那边
当然还是要为下一世代的黄光准备其他方法继续往下探就是了