[学术] 有关于陶瓷基薄膜镀不上去Inconel问题 andylu1207 PTT批踢踢实业坊

[学术] 有关于陶瓷基薄膜镀不上去Inconel问题

楼主: andylu1207 (andylu1207) 2016-05-19 03:53:54

各位大大专家好
不才小弟想请问各位
陶瓷基薄膜像是CrAlSiN这类的thin film 若镀不上去Inconel718 想请问有什么方式解
决?
目前已try制成温度与偏压好像都没效
(镀制仪器为 sputter )
另外请问氮化钼的热膨胀系数是多少目前网络上找不到相关资料
若有专业的板大能解惑深感谢意!!!!!

作者: choral 2016-05-19 08:13:00

Micro Arc Oxidation

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