板上的各位大大,你们好
小弟我本身是做PECVD的,会用MFC(mass flow controller)来控制我制程中要的流量
最近因为做实验时,玻璃管中precursor的液体不小心冲到
管子里面,好像也有一点进到MFC里面,导致他现在数值会一直跑来跑去的
想问大家有推荐的维修或购买厂商吗?
原本买的厂商,学长不大推荐,叫我在去多找几家
但我也不知道还有哪些可以找的
我这边有的名单就只有"笙瑞"
请问大家还有其他推荐的厂商吗?
感谢各位了!