各位大大好
我有一片GaN on Sapphire的片子
因为用MBE成长GaN故需要在Sapphire侧镀钛
现在片子长好后想将那层钛去掉
已知BOE会吃钛
无奈吃的速度太慢
(之前GaN on GaN的片子泡了快一天才将钛吃干净)
这次也想将GaN on Sapphire这片用泡BOE的方式去钛
但因为Sapphire即Al2O3，猜测会被BOE蚀刻
Google的结果只有一篇中国的有写到Sapphire substrate是Alpha Al2O3
晶体节结构不同，所以不会被BOE蚀刻
但我对26的言论持保留态度
因此想问版上的各位大大有没有类似经验?
蓝宝石基板到底会不会被BOE蚀刻?
谢谢