中央社
培育EUV工程师 ASML全球技术培训中心南科开幕
https://www.cna.com.tw/news/afe/202008200220.aspx
（中央社记者张荣祥台南20日电）荷兰ASML（艾司摩尔）“EUV（极紫外光）全球技术培
训中心”今天在南部科学园区开幕，配备实机模组及提供学术理论、无尘机实机操作等课
程，为半导体产业提供更完善的服务。
座落于南科的ASML“EUV全球技术培训中心”今天开幕，经济部长王美花也到场观礼。目
前这座中心配置14名讲师，预估每年可提供数千小时课程，同时为ASML及全球客户培育
360名EUV技术工程师。
ASML发布新闻稿指出，ASML2010年提供第一台EUV微影设备原型给台积电进行研发工作，
开创全球微影技术新纪元，2017年ASML再交付第一台量产型EUV微影系统给台积电，写下
商用EUV制程技术的新里程。
ASML在南科设立“EUV全球技术培训中心”，不仅让营运及服务更多元，也实现支援先进
制程开发与量产的承诺，同时以最精省时间和成本培育EUV工程师。（编辑：谢雅竹）