你这范例不是很好
用热膨胀系数算
1公分长的铁
室温每差1度C
长度就差120奈米
温度差0.1度C
就差12奈米
然后机台每个料件
如果材质不同
热膨胀系数也不同
连硅晶圆都有自己的热膨胀系数
在10奈米以下制成
就算不考虑机台因素
也就是室温差不到一度C
可能连光罩对位
都没办法对上了
可怕吧
※ 引述《rick102233 ()》之铭言：
: 陆媒表示，光刻机(曝光机)再巅峰，也是手造而不是神造的
: 倾全国之力终有突破的一天
: 仔细想想，精度2-5nm完全无法想像啊
: 如果把机器放大成地球这么大
: 机器的误差必须小于一粒沙？外星科技
: 撇开中国能不能造出个位数精度的曝光机
: ASML的曝光机是不是人类科技的极限