1.媒体来源:
中央社
2.完整新闻标题:
台积电7奈米 2018年试产
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（中央社记者张建中新竹30日电）晶圆代工厂台积电持续积极冲刺先进制程技术，10奈米
制程预计2016年量产，7奈米将于2018年试产。
台积电在2014年年报中指出，16奈米鳍式场效电晶体强效版(16FF+)制程技术去年第4季已
完成所有可靠性验证，7月可望进入量产，预期今年底前将可完成近60件客户产品设计定
案。
至于10奈米制程，台积电2014年研发着重于基础制程制定、良率提升、电晶体效能改善及
可靠性评估；预计今年进入试产，年底将有客户产品设计定案，明年开始量产。
至于7奈米制程，台积电2014年开始进行进阶研发，今年研发将着重于电晶体结构选择、
电晶体与导线的基本制程制定，及初步可靠性评估。
台积电明年将进行7奈米全面开发，预计2018年进入试产。
在微影技术方面，台积电表示，随着分辨率的强化，加上针对20奈米及16奈米开发的先进
曝影技术，让浸润式微影技术能够满足10奈米技术的要求。
台积电同时指出，去年引进了第2台NXE3300极紫外光(EUV)曝光机，正与艾司摩尔(ASML)
合作提升设备能力，以达到7奈米制程技术的要求；另外，针对7奈米以下制程，正评估多
重电子束直写技术。1040430
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http://www.cna.com.tw/news/ait/201504300055-1.aspx
5.备注:
7奈米......物理极限终于要到了