〈北部〉电子显微镜新装置 清交合作获奖
自由
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清华大学材料系游萃蓉教授，以“一种可用于电子显微镜样品装置结构及其制作方法”获
得今年度国家发明奖银牌，此专利技术可对其奈米成分进行液态穿透电显观察，有助未来
推动生技产业和奈米药物开发。
游萃蓉表示，会进行此实验是因好奇，就是想观察活体，液体内生物是怎么活动，由于目
前所使用分辨率最高的影像分析仪器是穿透式电子显微镜，成像原理是借由穿透电子束和
试片交互作用，故腔体内部需要高真空，因此一般活体和液体样品无法在穿透式电子显微
镜下操作。
游萃蓉与博士班学生刘国良从微机电技术着手，与清大张晃猷、刘承贤教授和交大徐琅及
彭慧玲教授合作，经过尝试及改良，终于研发出一种可观测液体的装置K-kit。
游萃蓉表示，此装置是硅晶圆上沉积氧化硅薄膜，只要将此薄膜堆叠封装，于其中填入欲
观测样品，透过高强度的氧化硅薄膜隔绝真空、保护样品，就可维持样品原始状态，进而
观察。
游萃蓉说，经与业界合作后，使用在半导体微机电技术商业化量产，六吋晶圆可制作数百
颗产品，不仅可大量生产降低成本，且这项产品为可抛式，不会造成样品污染。