为抢攻国际节能商机，国研院仪科中心结合产学研能量，提升石墨烯应用于紫外光发光二
极体的制造技术，与美、日大厂并驾齐驱，估年产值将超过新台币3.6亿元。
环保意识高涨，未来5至10年内节能产品需求大增，其中可应用于农业用途、纸钞识别、
树脂硬化、特殊生医用途的紫外光发光二极管 (UV-LED)市场前景看好，产业进入快速发
展期。
目前高功率 UV-LED 均使用氧化铟锡 (ITO) 做为透明导电膜，会发生散热不良、电流分
布不均等问题，影响其发光效率。
国家实验研究院仪器科技研究中心 (仪科中心)“光学系统整合研发联盟”主导结合全球
最大 LED 芯片厂芯片光电、国立中央大学薄膜技术中心等产学研三方能量，以更适合
LED 使用的透明电极材料石墨烯(graphene) 取代氧化铟锡，希望能克服 UV-LED 发光效
率降低的问题。
这项“开发电浆辅助高温原子层沉积系统应用于紫外发光二极管”计画，已取得科技部中
部科学工业园区管理局高科技设备前瞻技术发展计画支持。
仪科中心表示，研究的关键技术包括让约 600℃低温制程的石墨烯可以直接在白金薄膜上
生成，以制作电极，及让此电极可与 LED 的发光层完美结合。
本次合作初期将于芯片光电厂内进行测试与验证，等技术成熟后，将委托仪科中心与中央
大学薄膜技术中心技术转移于设备厂商，进行相关设备制造，建立我国设备自主开发能力
。
中央社
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