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【萧文康、杨喻斐╱台北报导】SEMICON Taiwan2014国际半导体展昨开幕，最受晶圆厂关
注的EUV（极紫外光）微影技术发展情况，设备厂ASML（艾司摩尔）昨借由这次来台参加
国际半导体展机会释出最新消息，ASML亚太区技术行销协理郑国伟表示，最新第3代EUV机
台NEX3300B已出货6台，其中已出货1台以上予台湾客户，协助客户进入10奈米制程。
据业界入士推测，引进ASML最新机台的客户应该是大客户、也是ASML股东之一的台积电（
2330），ASML虽对每台单价低调不谈，但业界预估约在约9000万欧元（约35.7亿元台币）
。
由于目前的浸润式微影机台在10奈米左右就面临物理极限，EUV微影机台是晶圆厂制程要
进入10奈米制程必须添购的设备，目前台湾仅有台积电有此需要。
ASML全球已出货6台
郑国伟则透露，NEX3300B抵台时总共出动11架次波音747运送，足见机台的规模庞大。目
前NEX3300B已对全球客户出货6台，预计年底到明年初还将出货5台。
针对ASML的EUV微影机台效能上，郑国伟，每天可曝光处理500片晶圆，符合研发产线的需
求，客户测试可达600片，到2016年底曝光量可到1500片，已可达客户10奈米量产需求，
同时，ASML也会在2016年推出第4代产品。
另外，对短期内存市场出现杂音，内存大厂三星将转产能到利基型DRAM（Dynamic
Random Access Memory，动态随机存取内存），台湾半导体协会理事长暨钰创（5351）
董事长卢超群表示，尽管市场短期有上下波动，不过，看好市场长期仍可望维持合理秩序
，对长期发展依然审慎乐观，同时，DRAM市场已经不会再像5年前一样，现在有许多新兴
应用不断浮现，DRAM产能是追着应用跑。
Q3半导体产值看增8%
他说，第3季半导体产值可望成长8%，第4季将再成长1%，尽管明年第1季将较平缓，不过
，明年整体产业景气依然看好。除物联网、穿戴装置及4G外，还有智慧电表、车用电子、
医疗及远端照护等新应用，对半导体未来2~3年发展看法正面。
不过，卢超群表示，台湾半导体业仍须政府政策扶植，协助聚才、留才及育才，才能维持
产业领先优势。他建议政府要改良限制型股票，同时在培训人才方向，可以朝着附属技职
学校、学院的方向走，例如工研院、台大成立附属技职学校，相信可以吸引更多更多的人
才。
【ASML极外光(EUV)微影技术发展现况】
第3代EUV新产品名称：NEX3300B
目前出货台数：6台，今年底到明年初再出货5台
台湾订单：至少1台以上
每台单价：市场估约9000万欧元(约35.7亿台币)
曝光处理晶圆能力：每天可曝光600片晶圆，预计2016年底将达每天曝光1500片晶圆，协
助客户进入10奈米制程量产
输出功率：目前约功率40W，预期明年下半年达250W
资料来源：记者采访整理
3.新闻连结:
http://0rz.tw/NDESL
4.备注:
GG要进入10nm啦~

台中爽到惹～～～

机台很煞气的名字

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中科是GG未来的主力:10nm+18吋厂

荷兰的高科技

中科设备又要ㄎㄎ了